2019/10/23 暉盛科技 暉盛電漿設備 PCB產業主攻先鋒

電漿設備大廠—暉盛科技,挾優越電漿技術開發能力,近年來布局產業有成,除成功進入美系半導體大廠供應鏈,並取得國際通訊大廠合作機會,提供製程解決方案,再加上歐洲及亞太地區訂單持續放量,預估2020年公司整體營收可望持續攀升。
  暉盛科技總經理許嘉元博士表示,近年來印刷電路板市場需求朝向高密度、高整合(InFO)、高頻高速之發展,在新材料開發與新技術發展,皆需仰賴高附加價值的電漿技術解決方案。
  暉盛科技所開發的一系列高效電漿設備,除可對應全加成法(SAP)與半加成法(MSAP)等電路板製程外,對於新一代嵌入式基板製程,如英特爾EMIB或FOPLP等製程,提供高品質、高穩定性的電漿製程能力。
  為實現高密度、高頻傳輸、高速運行等電路設計目標,材料選擇與製程搭配向來是成敗關鍵之一。電漿做為材料表面處理的專業技術,許嘉元博士表示,未來PCB產業用的電漿設備角色,已從助攻轉型為主攻,不僅是單純處理有機材料,如Epoxy、LCP、Polyimide、PTFE、Solder Mask/Dry Film等活化與粗化,未來更需直接進行無機材料的乾性蝕刻加工,包括銅、鎳、金等金屬與各種介層填充材(Filler),不論是藉由具高濃度自由基,且低溫的間接式微波電漿(Indirect Microwave Plasma),或是採用非等向性之高密度反應式離子蝕刻電漿(ICP-RIE)。
  因應產業自動化升級,並進一步擴大為智慧生產,暉盛電漿設備具備工業4.0設計框架,除符合IEC及SEMI規範與TUV認證,且針對不同板廠推出各式自動化設備。無論是硬板廠與軟硬板廠所需的垂直式或水平式的批次╱連續作業方式,或者是軟板廠的卷對卷式作業方式,皆可滿足Hands-Free的基本需求,連續作業可串接上下游,支援標準介面及通訊協議,包含SEMI E84、SMEMA,而在控制及資料收集方面,可與MES╱CIM連線進行Full-Control,擁有多種通訊協定,可接續各產業CIM系統。
  許嘉元博士表示,展望未來,AI+5G將重塑人類生活樣貌,是科技與生活結合的新境界,同樣地,電漿發展與環境永續亦可能劃上等號。<摘錄經濟>